基本解释[計算機科學技術]掃描式電子束光刻[電子、通信與自動控制技術]掃描式電子束光刻词组短语短語direct write electron beam lithography 直寫式電子束光刻write electron beam lithography更多词组专业释义計算機科學技術掃描式電子束光刻電子、通信與自動控制技術掃描式電子束光刻